隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微?。{米級）的微電子器件，要去測試它的基本電學(xué)性能（如電流、電壓、阻抗等） 時(shí)配有顯微鏡的高精度探針臺能夠提供良好的電測環(huán)境。通過顯微鏡和CCD將待測器件放大，用高精度微探針對待測器件進(jìn) 行扎針再外接電學(xué)測試儀表進(jìn)行測試和分析。此外，對于一些怕氧化、需要保存在真空中的器件，即便在電學(xué)測試的過程中 也需要將樣品置于真空環(huán)境中，因此室溫真空探針臺是這種類型測試的不er選擇。

      室溫真空探針臺能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個(gè)室溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學(xué)測量儀器，可完成集成 電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測，用于室溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。

隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微小（納米級）的微電子器件，要去測試它的基本電學(xué)性能（如電流、電壓、阻抗等） 時(shí)配有顯微鏡的高精度探針臺能夠提供良好的電測環(huán)境。通過顯微鏡和CCD將待測器件放大，用高精度微探針對待測器件進(jìn) 行扎針再外接電學(xué)測試儀表進(jìn)行測試和分析。此外，對于一些怕氧化、需要保存在真空中的器件，即便在電學(xué)測試的過程中 也需要將樣品置于真空環(huán)境中，因此室溫真空探針臺是這種類型測試的不er選擇。

      室溫真空探針臺能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個(gè)室溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學(xué)測量儀器，可完成集成 電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測，用于室溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。