高壓探針臺是一種用于高壓環(huán)境下測試半導(dǎo)體器件、集成電路或其他電子元件電性能的專用設(shè)備,它通過探針與被測器件的接觸,實現(xiàn)對器件內(nèi)部電信號的**測量,是半導(dǎo)體制造、研發(fā)與質(zhì)量控制過程中*備的工具。
技術(shù)原理
高壓探針臺的核心原理在于通過精密的機(jī)械定位系統(tǒng),將探針準(zhǔn)確放置在被測器件的指定測試點(diǎn)上,同時提供穩(wěn)定的高壓環(huán)境。其內(nèi)部集成了高壓電源、信號采集與分析系統(tǒng),能夠?qū)崟r監(jiān)測并記錄測試過程中的電壓、電流等關(guān)鍵參數(shù)。探針本身通常采用特殊材料制成,以確保在高壓下仍能保持良好的導(dǎo)電性和接觸穩(wěn)定性。
應(yīng)用場景
高壓探針臺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),特別是在功率器件(如IGBT、MOSFET)、高壓集成電路以及傳感器等產(chǎn)品的研發(fā)與生產(chǎn)階段。在研發(fā)過程中,它可用于驗證器件的高壓耐受能力、漏電流等關(guān)鍵指標(biāo);在生產(chǎn)線上,則用于對成品進(jìn)行抽檢或全檢,確保產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。此外,高壓探針臺在航空航天、汽車電子等對可靠性要求*高的領(lǐng)域也有著重要應(yīng)用。
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